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2021年2月,清华大学的唐传祥教授团队与德国科学家合作在《自然》上发表了一篇论文,报告了他们对基于被称为SSMB原理产生极深紫外光源的理论完成了一定的实验验证。但时隔两年后的今天,这一工作突然被一些自媒体炒作为中国将建立起EUV光刻机工厂。但是,独立制造一台光刻机,能有这么快吗?
参考文献
[1] https://www.nature.com/articles/s41586-021-03203-0
[2] https://wulixb.iphy.ac.cn/article/doi/10.7498/aps.71.20220486
本文经授权转载自微信公众号“科学有故事”,原标题为《网传清华大学弯道超车光刻机新方案,冷静》,“返朴”发表时略有修改。
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